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    Retort Kiln증착(CVD)을 위한 비연속 공업로 기술

    비금속 분말 및 금속 분말 환원

    원준의 Retort kiln은 실란(SiH4), 수소(H2), 기체 마그네슘(Mg), 진공 등과 같은 분위기의 공정에 이상적인 솔루션입니다. Retort는 고순도의 금속 등급을 얻기 위한 산소 환원 및 비금속 분말의 증착이 필요합니다.

    Retort Kiln은 고유한 공정 가스 순환 기능으로 최적의 공정 가스를 제품 위로 직접 유도하며, 균일한 흐름을 가능하게 하여 우수한 분위기 및 온도 균질성을 보장합니다. 또한 매우 빠른 가열 및 냉각이 가능합니다.
    추가 공정 가스를 절약하고 사이클 시간을 최소화하기 위하여 공정 챔버를 진공으로 클리닝한 후 다음 공정 가스를 주입하여 공정 가스의 교환을 합니다.

    Retort kiln는 비연속식 공업로라서 컴팩트한 레이아웃으로 설치 공간을 최소화할 수 있습니다.

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